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精密光学反光镜

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紫外曝光、光刻
汇博光学提供IC半导体光刻机、FPD液晶面板曝光设备、PCB线路板曝光机系统使用的精密光学薄膜产品。包括各种大功率深椭球分光镜、45°平面反射镜、介质膜反射镜、铝增强型反射镜、复眼透镜、365nm带通滤光片、光配向反射镜、异形反射镜等。精密光学薄膜器件采用精密模压及数控加工,镀制多层硬质氧化物薄膜,具有光斑均匀性好、反射效率高、寿命长等特点。主要应用包括IC半导体、PCB、LED、MEMS、TFT、LCD、紫外固化、紫外点光源等产业方向。
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